东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日  ，由说目前中国集成电路创新全联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新迅速发展交流会”以六大会场加图片来源来源连线的进行同步日举行。来于 集成电路全产业链各环节的优秀型企业、高校和科研院所的千余位属于参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业相关技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，拿不到相关技术创新奖。

　　“IC创新奖”由说目前中国集成电路创新全联盟主办  ，面向在目前中国集成电路产业链上下游企事业该单位征集 ，重点鼓励集成电路相关技术创新、成果产业化、产业链上下游正式合作 ，是集成电路产业最最非常关键相关技术奖项又成 ，当中相关技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大相关技术创新和最非常关键相关技术开发不仅如此如此胜利重大突破的该单位和合作团队。首次摘得整体行业重磅赛事的最非常关键奖项 ，仍然彰显出东方晶源在电子束检测、量测细分领域的相关技术真实实力和整体行业的实际高度认可。

　　检测是芯片制造厂商拿不到整体水平提升良率的最非常关键通过。电子束检测设备并具超高精度  ，在高端芯片制造复杂过程 发挥的起到愈加大。目前已  ，该类设备被在目前中国厂商垄断  ，又成制约目前目前中国芯片制造自主可控的最非常关键瓶颈。东方晶源数年磨剑  ，胜利成功研收到在目前中国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可提供更多完整的纳米级缺陷检测和分析结论彻底解决方案。目前已已对其目前目前中国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证然而表明二是指标与在目前中国一线对标机台上述同等水平提升 ，胜利成功彻底解决目前目前中国在电子束检测细分领域的最非常关键相关技术彻底解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测细分领域已深耕多年并胜利成功正式推出多款设备  ，胜利重大突破。除首次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸最非常关键尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于十月份 6月快速进入产线验证  ，目前已最后完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异各种各种市场需求明确要求  ，性能仍然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于十月份 3月快速进入产线验证  ，目前已尽管快速进入客户一产线小规模试产。当中 ，东方晶源还于近两天已发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，目前已该设备工程机（Alpha机）尽管对其首轮wafer demo  ，可以可以各种各种市场需求28nm及以之上制程各种市场需求  ，Beta机集成其它工作加速推进中 ，已胜利客户一订单 ，快速进入产线验证指日可待。

　　又成该家 聚焦集成电路良率管理细分领域  ，以拿不到整体水平提升芯片制造门槛为使命的半导体型企业  ，东方晶源目前已 以研发创新为迅速发展核心  ，不持续性地丰富新产品矩阵并拿不到整体水平提升新产品性能  ，填补多项在目前中国空白。因为未来 ，东方晶源将仍然立足一体化相关软件平台支持和检测装备两大细分领域  ，以客户一为四大中心  ，以当前市场为导向  ，不持续性地对其相关技术突破与新产品创新  ，与目前目前中国集成电路产业上下游型企业勠力同心  ，推动目前目前中国集成电路制造产业仍然高速迅速发展。