东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

前不久  ，不断从上海都复工复产的快速推进 ，东方晶源积极参与组织设备交付工作时  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键点尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付从上海都所有客户 。据悉出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内市场知名晶圆代工厂后  ，再一次再一次佳绩 头部所有客户 的青睐和再一次佳绩 。层面  ，标志着东方晶源硬件系列产品 可进入 批量交付三大模式。

据悉出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除具有一该系列系列产品 惯往往 高灵敏度电性和物理缺陷检测、快速有效难题出现28nm及上述良率难题出现、自主创旧的高性能缺陷检测引擎（DNA表现数据库）、基于深度来学习的缺陷自动分类（ADC）算法等系列产品 特点外  ，东方晶源研发团队人员依然在上一代系列产品 的基于上升级优化优化  ，使SEpA-i515具有一更高的TPT和更优的品台风格设计  ，设备运行效率、性能指标均有大幅增强。则是则是  ，上一代系列产品 SEpA-i505 早依然在国内市场头部晶圆代工厂量产整年 ，系列产品 性能及稳定性再一次佳绩 充分验证。

另一台交付的系列产品 为关键点尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，并对先进的电子束成像子系统和高速硅片传输方案  ，搭配组合 精准的量测算法 ，可实现基于 高重复精度、高分辨率及高产能的关键点尺寸量测。该设备自去年底6月底可进入 国内市场头部晶圆代工厂创下产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果再一次佳绩 所有客户 再一次佳绩 。

东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的欧洲国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目项目  ，经几数年攻坚克难  ，突破多项核心关键点新型技术 ，从零部件到整机风格设计制造  ，均具有一其实自主知识产权  ，填补国内市场空白。当前 ，两款设备可进入 批量交付三大模式 ，产业化进程佳绩丰硕成果。

据悉设备交付的所有客户 所在捡起海在你国集成电路产业具有一举足轻重的地位 ，当前早成了了国内市场集成电路产业综合平均水平高、产业链完整、产业生态坏境更快集聚地成了。东方晶源更具 看重从上海都都的加速发展和布局  ，继计算光刻软件工具（OPC）可进入 从上海都头部晶圆代工企业所后 ，硬件系列产品 并于 登陆从上海都。为更快资源 的专业服务上述海为核心的长三角所有客户  ，东方晶源并于 去年底8月份从上海都都设立子其他公司  ，三大模式形成从上海都总部、从上海都子其他公司和从上海都子其他公司为核心的三地布局  ，并进一步企业所贴近产业前沿高地  ，为集成电路企业所所带去优质的系列产品 和专业服务 ，更快资源 的与上下游企业所携手并进一步产业加速发展的层面  ，构筑企业所本身竞争壁垒。

东方晶源自并于 成立创下  ，专注于芯片制造关键点环节的良率被控制和增强三大领域 ，三大模式形成以计算光刻软件工具（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的系列产品 矩阵 ，并向更快资源 相关联三大领域 积极布局。硬件层面  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作时  ，并进一步夯太多了 国内市场电子束检测三大领域 领先的当前市场地位和核心新型技术其优势。软件工具层面  ，光刻工艺严格仿真软件工具PanSim早依然在所有客户 侧并对验证  ，仍将维持7月底release V1.0版本。发展未来  ，东方晶源将立足通用软件工具品台和检测装备两大三大领域  ，寻求横纵向加速发展机遇  ，为所有客户 可以提供更具 多样化的系列产品  ，向着国内市场集成电路三大领域 良率管理领导者的两个目标奋进。